Wafer Fabrication (eBook)
284 Seiten
De Gruyter (Verlag)
978-3-11-048723-7 (ISBN)
This book systematically introduces modeling, performance evaluation and applications of Automatic Materiel Handling System (AMHS) in semiconductor manufactucing, and focuses discussion on the coordination of two subsystems. Resources dispatch and optimization are conducted on operational research combined with cases studies. Written in a practical way, it is an essential reference for researchers and engineers in manufacturing and management.
Jie Zhang, Shanghai Jiaotong University, Shanghai, China
lt;P>Jie Zhang, Shanghai Jiaotong University, Shanghai, China
Table of content:
Chapter 1 Wafer fabrication system-semiconductor manufacturing, process, manufacturing system, machining system, dispatch
Chapter 2 Automatic Materiel Handling System (AMHS) in wafer fabrication-development, sub-systems, layout, features
Chapter 3 AMHS modeling-modeling based on network flow, queueing theory, Mathematical Programming model, Markov model, Simulation Model, Petri network model
Chapter 4 AMHS performance analysis-description of the running of AMHS, frequently-used analytical methods, extended Markov model, performance analysis based on extended Markov model
Chapter 5 AMHS dispatch-dispatch based on Heuristic Rules, operational research, intelligent algorithm
Chapter 6 Dispatch of Interbay handling system-methods, model, structure, dispatch based on Complex Heuristic Rules
Chapter 7 Dispatch of Intrabay handling system-dispatch based on GDP, Push-Pull theory
Chapter 8 Dispatch at system level-dispatch based on PMPGA, GARL Complex Heuristic Rules
Chapter 9 Performance and evaluation-system performance modeling, modeling based on AOKCTP, performance analysis, case studies
Erscheint lt. Verlag | 24.9.2018 |
---|---|
Co-Autor | Huazhong University of Science and Technology |
Zusatzinfo | 50 b/w ill., 10 b/w tbl. |
Verlagsort | Berlin/Boston |
Sprache | englisch |
Themenwelt | Technik ► Bauwesen |
Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik | |
Technik ► Maschinenbau | |
Wirtschaft ► Betriebswirtschaft / Management ► Planung / Organisation | |
ISBN-10 | 3-11-048723-3 / 3110487233 |
ISBN-13 | 978-3-11-048723-7 / 9783110487237 |
Haben Sie eine Frage zum Produkt? |
Größe: 15,4 MB
DRM: Digitales Wasserzeichen
Dieses eBook enthält ein digitales Wasserzeichen und ist damit für Sie personalisiert. Bei einer missbräuchlichen Weitergabe des eBooks an Dritte ist eine Rückverfolgung an die Quelle möglich.
Dateiformat: EPUB (Electronic Publication)
EPUB ist ein offener Standard für eBooks und eignet sich besonders zur Darstellung von Belletristik und Sachbüchern. Der Fließtext wird dynamisch an die Display- und Schriftgröße angepasst. Auch für mobile Lesegeräte ist EPUB daher gut geeignet.
Systemvoraussetzungen:
PC/Mac: Mit einem PC oder Mac können Sie dieses eBook lesen. Sie benötigen dafür die kostenlose Software Adobe Digital Editions.
eReader: Dieses eBook kann mit (fast) allen eBook-Readern gelesen werden. Mit dem amazon-Kindle ist es aber nicht kompatibel.
Smartphone/Tablet: Egal ob Apple oder Android, dieses eBook können Sie lesen. Sie benötigen dafür eine kostenlose App.
Geräteliste und zusätzliche Hinweise
Buying eBooks from abroad
For tax law reasons we can sell eBooks just within Germany and Switzerland. Regrettably we cannot fulfill eBook-orders from other countries.
aus dem Bereich