Silver Metal Organic Chemical Vapor Deposition for Microelectronic Metallization
Seiten
2005
|
1., Aufl.
Shaker (Verlag)
978-3-8322-3895-7 (ISBN)
Shaker (Verlag)
978-3-8322-3895-7 (ISBN)
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| Reihe/Serie | Selected Topics of Electronics and Micromechatronics /Ausgewählte Probleme der Elektronik und Mikromechatronik |
|---|---|
| Sprache | englisch |
| Maße | 148 x 210 mm |
| Gewicht | 284 g |
| Einbandart | Paperback |
| Themenwelt | Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik |
| Schlagworte | CVD • Diffusion Barrier • HC/Technik/Elektronik, Elektrotechnik, Nachrichtentechnik |
| ISBN-10 | 3-8322-3895-6 / 3832238956 |
| ISBN-13 | 978-3-8322-3895-7 / 9783832238957 |
| Zustand | Neuware |
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