Photostrom-Spektroskopie von Silicium - Mathias Rommel

Photostrom-Spektroskopie von Silicium (eBook)

Charakterisierung von Eisen kontaminiertem Silicium und Isolator/Silicium-Strukturen mit dem Elymat-Verfahren

Mathias Rommel (Autor)

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2008 | 1. Auflage
232 Seiten
VDM Verlag Dr. Mueller e.K.
978-3-8364-9088-7 (ISBN)

Das vorliegende Buch dokumentiert umfassende experimentelle und theoretische Untersuchungen zur Injektionsabhängigkeit von Photostrom-Messungen. Die Injektionsabhängigkeit der Ladungsträgerlebensdauer von Eisen-kontaminierten bordotierten Siliciumproben wurde mit dem konventionellen Elymat-Verfahren experimentell ermittelt und durch zweidimensionale Simulationen verifiziert. Die dabei gewonnenen Ergebnisse sind von grundlegender Bedeutung für die ebenfalls erfolgte Charakterisierung von Isolator/Silicium-Strukturen mit einem modifizierten Elymat-Verfahren. Erstmals ist es mit dieser Messmethode gelungen, die Grenzflächenzustandsdichte und die Isolatorvolumenladung quantitativ zu bestimmen. Das Buch richtet sich an Ingenieure und Physiker aus dem Gebiet der Halbleiterphysik und -messtechnik.

Dr.-Ing., Studium der Elektrotechnik an der Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg. Masterstudiengang Principles of Renewable Energy Use an der Carl-von-Ossietzky-Universität Oldenburg. Gruppenleiter am Fraunhofer Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie, Erlangen.

Erscheint lt. Verlag	25.3.2008
Sprache	deutsch
Themenwelt	Technik
ISBN-10	3-8364-9088-9 / 3836490889
ISBN-13	978-3-8364-9088-7 / 9783836490887

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