Fotolithografie

SEHR GEEHRTE LESERIN, SEHR GEEHRTER LESER, seit 2001 beliefern wir einen ständig wachsenden Kreis an Instituten, Startups und Fertigungseinrichtungen mit Substraten und Chemikalien für die Mikrostrukturierung. Dabei waren und sind wir stets bemüht, Ihnen als Anwender unserer Produkte durch unsere technische Beratung die Arbeit im Reinraum so effizient wie möglich zu gestalten. Mit diesem Buch möchten wir Ihnen umfassendes anwendungsorientiertes Know-how zu Wafern, Fotochemikalien und damit durchgeführten Strukturierungsschritten vermitteln. Theoretische Grundlagen werden nur in dem Umfang behandelt wie sie für das Verständnis der Zusammenhänge zwischen den Prozessparametern hilfreich sind. Dadurch bleibt der Schwerpunkt auf der Schilderung und Erläuterung praktischer Beispiele. Fertige Rezepte mit Erfolgsgarantie können wir Ihnen leider nicht (immer) mit auf den Weg in den Reinraum geben. Unser Hauptanliegen ist es vielmehr, Ihnen in den folgenden Kapiteln alles notwendige Verständnis zur Planung, Durchführung und Optimierung Ihrer Lithografie-Prozesse in allen Teilschritten mit minimalem Zeitaufwand zu vermitteln. Viel Erfolg dabei wünscht Ihnen Ihre MicroChemicals