The Physics of Micro/Nano-Fabrication

Ivor Brodie, Julius J. Muray (Autoren)

Buch | Hardcover

622 Seiten

1993
Kluwer Academic/Plenum Publishers (Verlag)
978-0-306-44146-2 (ISBN)

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In this revised and expanded edition, the authors provide a comprehensive overview of the tools, technologies, and physical models needed to understand, build, and analyze microdevices. Students, specialists within the field, and researchers in related fields will appreciate their unified presentation and extensive references.

1. Preliminary Survey.- 2. Particle Beams: Sources, Optics, and Interactions.- 3. Plasmas: Physics and Chemistry.- 4. Layering Technologies.- 5. Pattern Generation.- 6. Microcharacterization.- 7. Limits to Nanofabrication.- Appendixes.- Author Index.

Erscheint lt. Verlag	31.1.1993
Reihe/Serie	Microdevices
Zusatzinfo	XX, 622 p.
Verlagsort	New York
Sprache	englisch
Maße	178 x 254 mm
Themenwelt	Naturwissenschaften ► Chemie ► Analytische Chemie
	Naturwissenschaften ► Physik / Astronomie ► Atom- / Kern- / Molekularphysik
	Naturwissenschaften ► Physik / Astronomie ► Festkörperphysik
	Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik
ISBN-10	0-306-44146-2 / 0306441462
ISBN-13	978-0-306-44146-2 / 9780306441462
Zustand	Neuware