The Physics of Micro/Nano-Fabrication

Ivor Brodie, Julius J. Muray (Autoren)

Buch | Softcover

622 Seiten

2010
Springer-Verlag New York Inc.
978-1-4419-3221-1 (ISBN)

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In this revised and expanded edition, the authors provide a comprehensive overview of the tools, technologies, and physical models needed to understand, build, and analyze microdevices. Students, specialists within the field, and researchers in related fields will appreciate their unified presentation and extensive references.

1. Preliminary Survey.- 2. Particle Beams: Sources, Optics, and Interactions.- 3. Plasmas: Physics and Chemistry.- 4. Layering Technologies.- 5. Pattern Generation.- 6. Microcharacterization.- 7. Limits to Nanofabrication.- Appendixes.- Author Index.

Erscheint lt. Verlag	6.12.2010
Reihe/Serie	Microdevices
Zusatzinfo	XX, 622 p.
Verlagsort	New York, NY
Sprache	englisch
Maße	170 x 244 mm
Themenwelt	Naturwissenschaften ► Chemie ► Analytische Chemie
	Naturwissenschaften ► Geowissenschaften ► Mineralogie / Paläontologie
	Naturwissenschaften ► Physik / Astronomie ► Atom- / Kern- / Molekularphysik
	Naturwissenschaften ► Physik / Astronomie ► Festkörperphysik
	Naturwissenschaften ► Physik / Astronomie ► Thermodynamik
	Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik
	Technik ► Maschinenbau
ISBN-10	1-4419-3221-6 / 1441932216
ISBN-13	978-1-4419-3221-1 / 9781441932211
Zustand	Neuware