Handbook of Semiconductor Wafer Cleaning Technology
Science, Technology and Applications
Seiten
1993
William Andrew Publishing (Verlag)
978-0-8155-1331-5 (ISBN)
William Andrew Publishing (Verlag)
978-0-8155-1331-5 (ISBN)
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This book brings together into one volume all pertinent knowledge on semiconductor wafer cleaning and the scientific and technical disciplines associated directly or indirectly with this subject. The book provides the first comprehensive and up-to-date co
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Overview and Evolution of Semiconductor Wafer Contamination and Cleaning TechnologyTrace Chemical Contamination on Silicon SurfacesAqueous Cleaning ProcessesParticle Deposition and AdhesionOverview of Dry Wafer Cleaning ProcessesU
| Erscheint lt. Verlag | 31.12.1993 |
|---|---|
| Verlagsort | Norwich |
| Sprache | englisch |
| Maße | 151 x 229 mm |
| Gewicht | 450 g |
| Themenwelt | Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik |
| ISBN-10 | 0-8155-1331-3 / 0815513313 |
| ISBN-13 | 978-0-8155-1331-5 / 9780815513315 |
| Zustand | Neuware |
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