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Hybrid-Gasphasenepitaxie zur Herstellung von Aluminiumgalliumnitrid (eBook)

Sylvia Hagedorn (Autor)

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2015 | 1. Auflage
176 Seiten
Cuvillier Verlag
978-3-7369-4985-0 (ISBN)

Diese Arbeit zeigt, wie die epitaktische Abscheidung von AlGaN-Schichten im gesamten Kompositionsbereich mittels Hydrid-Gasphasenepitaxie (HVPE) realisiert wird. Die Optimierung eines für die Abscheidung verwendeten Quarzglasreaktors und das AlGaN-Wachstum durch ein quasi-thermodynamisches Modell werden detailliert beschrieben. Eine entscheidende Verbesserung der AlGaN-Materialqualität wird durch das Verfahren des epitaktisch lateralen Überwachsens strukturierter Substrate sowie durch Parameterstudien zum Substratfehlschnitt, Gesamtdruck und V/III-Verhältnis erreicht. Die Untersuchung struktureller und optischer Eigenschaften des abgeschiedenen Materials zeigt, dass die HVPE ein geeignetes Verfahren ist, um dicke, einheitlich orientierte, transparente AlGaN-Schichten herzustellen.

Erscheint lt. Verlag	20.5.2015
Sprache	deutsch
Themenwelt	Naturwissenschaften ► Physik / Astronomie
ISBN-10	3-7369-4985-5 / 3736949855
ISBN-13	978-3-7369-4985-0 / 9783736949850

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