Subsecond Annealing of Advanced Materials (eBook)
XVII, 321 Seiten
Springer International Publishing (Verlag)
978-3-319-03131-6 (ISBN)
The very early time.- Nanonet formation by constitutional supercooling of pulsed laser annealed, Mn-implanted germanium.- Metastable activation of dopants by solid phase epitaxial recrystallization.- Superconducting Ga-implanted Germanium.- Structural changes in SiGe/Si layers induced by fast crystallization.- Sub-nanosecond thermal spike-induced nanostructuring of thin solid films under swift heavy-ion (SHI) irradiation.- Pulsed-laser-induced epitaxial growth of silicon for three-dimensional integrated circuits.- Improvement of performance and cost of functional films using large area laser RTP.- Pulsed laser dopant activation for semiconductors and solar cells.- Formation of high-quality µm-order-thick poly-Si films on glass substrates by flash lamp annealing.- Millisecond-range liquid-phase processing of silicon-based hetero-nanostructures.- Radiation thermometry – sources of uncertainty during contactless temperature measurement.- Millisecond annealing for semiconductor device applications.- Low-cost and large-area electronics, roll-to-roll processing and beyond.- Application of sub-second annealing for dilute ferromagnetic semiconductors.
| Erscheint lt. Verlag | 16.12.2013 |
|---|---|
| Reihe/Serie | Springer Series in Materials Science | Springer Series in Materials Science |
| Zusatzinfo | XVII, 321 p. 205 illus., 59 illus. in color. |
| Verlagsort | Cham |
| Sprache | englisch |
| Themenwelt | Naturwissenschaften ► Physik / Astronomie |
| Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik | |
| Technik ► Maschinenbau | |
| Schlagworte | Activation of Dopants • Annealing by Swift Heavy Ions • Epitaxial Growth of Silicon • Explosive Crystallisation • Flash Lamp Annealing • Pulsed Laser Annealing • Radiation Thermometry • Sub-second Annealing • Thermal Processing of Materials • Thermal Spike-induced Nanostructuring |
| ISBN-10 | 3-319-03131-7 / 3319031317 |
| ISBN-13 | 978-3-319-03131-6 / 9783319031316 |
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