CMP and polishing are the most precise processes used to finish the surfaces of mechanical and electronic or semiconductor components. Advances in CMP/Polishing Technologies for Manufacture of Electronic Devices presents the latest developments and technological innovations in the field - making cutting-edge R&D accessible to the wider engineering community.
Most of the applications of these processes are kept as confidential as possible (proprietary information), and specific details are not seen in professional or technical journals and magazines. This book makes these processes and applications accessible to a wider industrial and academic audience.
Building on the fundamentals of tribology - the science of friction, wear and lubrication - the authors explore the practical applications of CMP and polishing across various market sectors. Due to the high pace of development of the electronics and semiconductors industry, many of the presented processes and applications come from these industries.
Demystifies scientific developments and technological innovations, opening them up for new applications and process improvements in the semiconductor industry and other areas of precision engineering
Explores stock removal mechanisms in CMP and polishing, and the challenges involved in predicting the outcomes of abrasive processes in high-precision environments
The authors bring together the latest innovations and research from the USA and Japan
CMP and polishing are the most precise processes used to finish the surfaces of mechanical and electronic or semiconductor components. Advances in CMP/Polishing Technologies for Manufacture of Electronic Devices presents the latest developments and technological innovations in the field - making cutting-edge R&D accessible to the wider engineering community. Most of the applications of these processes are kept as confidential as possible (proprietary information), and specific details are not seen in professional or technical journals and magazines. This book makes these processes and applications accessible to a wider industrial and academic audience. Building on the fundamentals of tribology - the science of friction, wear and lubrication - the authors explore the practical applications of CMP and polishing across various market sectors. Due to the high pace of development of the electronics and semiconductors industry, many of the presented processes and applications come from these industries. Demystifies scientific developments and technological innovations, opening them up for new applications and process improvements in the semiconductor industry and other areas of precision engineering Explores stock removal mechanisms in CMP and polishing, and the challenges involved in predicting the outcomes of abrasive processes in high-precision environments The authors bring together the latest innovations and research from the USA and Japan
2.1. History of Semiconductor Devices and their Types
Figure 2.1 Basic scheme showing the formation of a pn junction with lithography and the Planar Process |
Figure 2.2 Basic structure of CMOS device |
Figure 2.3 Progress of CMOS devices |
Figure 2.4 Device trend having MOS at the center and the progress |
2.2. Semiconductor Device Process Technology and current Situation
• Integrated Circuit Substrate | – Single crystal wafer base plate: Intrinsic Gettering – Epitaxial grown – Homo: Si grown on Si – Hetero: a-Si, SiC, Si-Ge – SOI – Fusion Recrystallization – Solid phase grown – SIMOX (Separation by Implanted Oxygen) – Pasting wafer: Direct connection, organic Film integration |
• Lithography | – Light transfer process: Same size projection, shrinking projection (stepper, scanner) – Electron beam portrayal: point beam, fairing beam – X-ray portrayal: Same size, Shrinking |
• Etching | – Solution technique – Dry etching – RIE (Reactive Ion Etching) – Ion milling – UV exposure, Usher – CMP (Chemical Mechanical Polishing) – Lift off |
• Insulating Film Formation | – Oxidation – CVD (Chemical Vapor Deposition) – Sputter – Chemical anode |
• Junction Formation | – Ion milling – Solid diffusion – Silicide: Face of Si base plate –... |
Erscheint lt. Verlag | 30.11.2011 |
---|---|
Sprache | englisch |
Themenwelt | Naturwissenschaften ► Physik / Astronomie |
Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik | |
Technik ► Maschinenbau | |
Technik ► Umwelttechnik / Biotechnologie | |
ISBN-10 | 1-4377-7860-7 / 1437778607 |
ISBN-13 | 978-1-4377-7860-1 / 9781437778601 |
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