Prüfverfahren zur Untersuchung der Partikelreinheit technischer Oberflächen

1 Einleitung.- 1.1 Problemstellung.- 1.2 Zielsetzung und Vorgehensweise.- 2 Stand der Technik.- 2.1 Begriffe und Definitionen.- 2.2 Ursachen für die Verunreinigung von Oberflächen.- 2.3 Oberflächen in unmittelbarer Produktumgebung.- 2.4 Verfahren zur Prüfung der Partikelreinheit technischer Oberflächen.- 3 Analyse der Randbedingungen zur Prüfung der Partikelreinheit technischer Oberflächen.- 3.1 Analyse der Beurteilungsmerkmale für Partikel.- 3.2 Eingesetzte Oberflächen.- 3.3 Beurteilungskriterien für die Oberflächenreinheit.- 3.4 Analyse der verfügbaren Partikelmeßtechnik.- 4 Ableitung von Entwicklungsschwerpunkten.- 4.1 Anforderungen an die Prüfeinrichtung.- 4.2 Anforderungen an eine zu entwickelnde Prüfmethode.- 5 Konzeption und Realisierung einer Prüfeinrichtung zur Beurteilung der Partikelreinheit technischer Oberflächen.- 5.1 Konzeption einer Prüfeinrichtung.- 5.2 Konzeption und Entwicklung von Funktionsgruppen.- 5.3 Realisierung.- 5.4 Minimal nachweisbare Partikelgrößen auf idealen Oberflächen.- 6 Entwicklung einer Prüfmethode.- 6.1 Auswahl von Testoberflächen.- 6.2 Definierte Verunreinigung der Testoberflächen.- 6.3 Detektionsrandbedingungen für die Prüfmethode.- 6.4 Erarbeitung der Prüfmethode.- 7 Anwendung des Verfahrens in realen Einsatzfällen.- 7.1 Untersuchung der Eignung des Verfahrens zur Fertigungsüberwachung.- 7.2 Qualitätssicherung durch Reinigung technischer Oberflächen.- 7.3 Bewertung der Anwendbarkeit des Verfahrens.- 8 Zusammenfassung und Ausblick.- 9 Literatur.