Quasistatisch auslenkbarer Kippspiegel zur Ablenkung von Licht
Seiten
2008
|
1., Aufl.
Sierke Verlag
978-3-940333-83-4 (ISBN)
Sierke Verlag
978-3-940333-83-4 (ISBN)
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Diese Arbeit beschreibt neuartige mikromechanische Torsionsaktoren
mit elektrostatischem Antrieb. Durch Integration der
Antriebselektroden in die bewegliche Spiegelplatte konnte die
Komplexität der Aktoren im Vergleich zu herkömmlichen Anordnungen
vereinfacht werden.
mit elektrostatischem Antrieb. Durch Integration der
Antriebselektroden in die bewegliche Spiegelplatte konnte die
Komplexität der Aktoren im Vergleich zu herkömmlichen Anordnungen
vereinfacht werden.
| Sprache | deutsch |
|---|---|
| Maße | 148 x 210 mm |
| Gewicht | 217 g |
| Einbandart | gebunden |
| Themenwelt | Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik |
| Schlagworte | HC/Technik/Elektronik, Elektrotechnik, Nachrichtentechnik • MEMS • Mikrospiegel • MOEMS • Optischer Schalter • Volumenmikromechanik |
| ISBN-10 | 3-940333-83-2 / 3940333832 |
| ISBN-13 | 978-3-940333-83-4 / 9783940333834 |
| Zustand | Neuware |
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