Dynamische Ermüdungsuntersuchungen an mikromechanischen Polysiliziumstrukturen
Seiten
2007
|
1., Aufl.
Technische Uni Berlin (Verlag)
978-3-7983-2028-4 (ISBN)
Technische Uni Berlin (Verlag)
978-3-7983-2028-4 (ISBN)
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| Zusatzinfo | zahlr. Abb., Tab., Graf. |
|---|---|
| Sprache | deutsch |
| Maße | 148 x 210 mm |
| Gewicht | 208 g |
| Einbandart | Paperback |
| Themenwelt | Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik |
| Schlagworte | Ermüdung • HC/Technik/Elektronik, Elektrotechnik, Nachrichtentechnik • MEMS • Polysilizium |
| ISBN-10 | 3-7983-2028-4 / 3798320284 |
| ISBN-13 | 978-3-7983-2028-4 / 9783798320284 |
| Zustand | Neuware |
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