EMLC 2007
23rd European Mask and Lithography Conference, Lectures held at the GMM Conference January 22 - 26, 2007 in Grenoble, France, Proceedings of SPIE in cooperation with VDE/VDI/ GMM
2007
VDE VERLAG (Hersteller)
978-3-8007-3032-2 (ISBN)
VDE VERLAG (Hersteller)
978-3-8007-3032-2 (ISBN)
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| Sprache | englisch |
|---|---|
| Gewicht | 91 g |
| Einbandart | Jewelcase |
| Themenwelt | Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik |
| Schlagworte | CD-ROM, DVD-ROM / Technik/Elektronik, Elektrotechnik, Nachrichtentechnik • EMLC • EUV • Lithography Technology • Mask Technology • Metrology • Software (CD-ROM) • SOFTWARE/Technik/Elektronik, Elektrotechnik, Nachrichtentechnik |
| ISBN-10 | 3-8007-3032-4 / 3800730324 |
| ISBN-13 | 978-3-8007-3032-2 / 9783800730322 |
| Zustand | Neuware |
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