Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik

GMM-Workshop vom 7. bis 8. Mai 2007 in Karlsruhe

Buch | Softcover

264 Seiten

2007
VDE VERLAG
978-3-8007-3033-9 (ISBN)

Reihe/Serie	GMM-Fachbericht ; 53
Zusatzinfo	mit 1 CD-ROM
Sprache	deutsch
Maße	210 x 297 mm
Gewicht	704 g
Einbandart	kartoniert
Themenwelt	Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik
Schlagworte	Abformtechnik • Hardcover, Softcover / Technik/Elektronik, Elektrotechnik, Nachrichtentechnik • HC/Technik/Elektronik, Elektrotechnik, Nachrichtentechnik • Mikroformgebungsverfahren • Mikrosystemtechnik • Nanosystemtechnik • Siliziumtechnik • Tiefenlithographie • Ultrapräzisionstechnik
ISBN-10	3-8007-3033-2 / 3800730332
ISBN-13	978-3-8007-3033-9 / 9783800730339
Zustand	Neuware