Micromachine Silicon for Mems
Seiten
1999
MTP (Verlag)
978-0-9535142-0-5 (ISBN)
MTP (Verlag)
978-0-9535142-0-5 (ISBN)
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| Reihe/Serie | Developments in Silicon Microsystems |
|---|---|
| Zusatzinfo | 84d. |
| Verlagsort | Cambridge |
| Sprache | englisch |
| Themenwelt | Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik |
| ISBN-10 | 0-9535142-0-X / 095351420X |
| ISBN-13 | 978-0-9535142-0-5 / 9780953514205 |
| Zustand | Neuware |
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