Effekte bei der Nanostrukturierung mittels fokussierter Ionenstrahlen
Seiten
2005
|
1., Aufl.
Shaker (Verlag)
978-3-8322-4164-3 (ISBN)
Shaker (Verlag)
978-3-8322-4164-3 (ISBN)
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- 2005/3
| Reihe/Serie | Erlanger Berichte Mikroelektronik ; 2005/3 |
|---|---|
| Sprache | deutsch |
| Maße | 148 x 210 mm |
| Gewicht | 216 g |
| Einbandart | Paperback |
| Themenwelt | Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik |
| Schlagworte | HC/Technik/Elektronik, Elektrotechnik, Nachrichtentechnik • Materialabtrag • Simulation • Sputtererosion |
| ISBN-10 | 3-8322-4164-7 / 3832241647 |
| ISBN-13 | 978-3-8322-4164-3 / 9783832241643 |
| Zustand | Neuware |
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