Advanced MEMS/NEMS Fabrication and Sensors (eBook)
VI, 312 Seiten
Springer International Publishing (Verlag)
978-3-030-79749-2 (ISBN)
- Presents latest international research on MEMS/NEMS fabrication technologies and novel micro/nano sensors;
- Covers a broad spectrum of sensor applications;
- Written by leading experts in the field.
?Zhuoqing Yang, PhD, received his BSc and MSc degrees in electromechanical engineering from Harbin Engineering University (HEU), Harbin, China, and his PhD in microelectronics and solid state electronics from Shanghai Jiao Tong University (SJTU). He was as an Assistant Professor at SJTU before becoming a JSPS Postdoctoral Fellow at the National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST) in Japan from 2011 to 2013. He returned to SJTU in 2014, where he is now a Full Professor in the School of Electronic Information and Electrical Engineering. Dr. Yang is also Resident Researcher at the National Key Laboratory of Science and Technology on Micro/Nano Fabrication, China. His research is focused on the design, simulation and fabrication of MEMS/NEMS sensors and actuators and 3D fabrications on the surface of flexible fiber for biomedical applications. Dr. Yang is an active Senior Member of the IEEE, a frequent contributor to international journals and conferences, and an editorial board member for the Micro and Nanosystems (MNS) and The Open Materials Science Journal.
| Erscheint lt. Verlag | 12.10.2021 |
|---|---|
| Zusatzinfo | VI, 312 p. 167 illus., 157 illus. in color. |
| Sprache | englisch |
| Themenwelt | Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik |
| Technik ► Maschinenbau | |
| Schlagworte | Advanced Manufacturing • Biomedical Applications • IOT • MEMS • Micro fabrication • Microfluidic • Micromaching • MOEMS • nano fabrication • nanomaterials • NEMS • Optofluidic Devices • sensors |
| ISBN-10 | 3-030-79749-X / 303079749X |
| ISBN-13 | 978-3-030-79749-2 / 9783030797492 |
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