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Advanced Control Design of MEMS Vibratory Gyroscope (eBook)

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2020
180 Seiten
Nova Science Publishers, Inc. (Verlag)
978-1-61470-650-2 (ISBN)

MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) technologies were developed by applying semiconductor microfabrication technologies to make three-dimensional microstructures and mechanical systems. MEMS technologies offer the advantages of batch fabrication of numbers of devices as well as an ability to integrate multiple functional units in a small area, which is important for developing smart and sophisticated devices. Gyroscopes are commonly used sensors for measuring angular velocity in many areas of applications such as navigation, homing, and control stabilization. Fabrication imperfections and thermal, mechanical noise may hinder the measurement of angular velocity of MEMS gyroscope. This book presents a comprehensive treatment of the analysis and advanced control design of MEMS gyroscope for the problem of angular velocity measurement and minimization of the cross coupling between two axes.

Erscheint lt. Verlag	26.6.2020
Sprache	englisch
Themenwelt	Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik
ISBN-10	1-61470-650-6 / 1614706506
ISBN-13	978-1-61470-650-2 / 9781614706502

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Buch | Hardcover

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