16th IEEE Annual Conference on Micro Electro Mechanical Systems (Mems)
2003
I.E.E.E.Press (Hersteller)
978-0-7803-7745-5 (ISBN)
I.E.E.E.Press (Hersteller)
978-0-7803-7745-5 (ISBN)
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A study of micro electro mechanical systems. The papers that make up the volume constitute the proceedings of the 16th International Micro Electro Mechanical Systems Conference (MEMS), held in 2003. Topics discussed include: nanodevice and NEMS; light and bio manipulation; and fabrication.
| Erscheint lt. Verlag | 30.6.2003 |
|---|---|
| Verlagsort | Piscataway NJ |
| Sprache | englisch |
| Themenwelt | Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik |
| Technik ► Maschinenbau | |
| ISBN-10 | 0-7803-7745-1 / 0780377451 |
| ISBN-13 | 978-0-7803-7745-5 / 9780780377455 |
| Zustand | Neuware |
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