Mikro- Und Nanoelektromechanik

In der modernen Mikroelektronik ist der sich am intensivsten entwickelnde Sektor mikroelektromechanische Systeme, MEMS. Diese Richtung basiert auf den neuesten Errungenschaften der mikroelektronischen Technologien und zielt darauf ab, exekutive Mikromechanismen zu schaffen, die bisher unerreichbare Funktionsfähigkeiten haben. In den letzten Jahren haben MEMS durch die Schaffung neuer Märkte für mobile Elektronik mit bisher unbekannten Verbrauchereigenschaften und Branchen - Automobil, Elektronik, Luft- und Raumfahrt, Medizin usw. - das tägliche Leben von Dutzenden von Millionen von Menschen stark beeinflusst. Die meisten Spezialisten, Entwickler von elektronischen Geräten und Anwender von High-Tech-Geräten haben jedoch bisher nur unzureichende Informationen über die neue Richtung der Mikroelektronik. Das Buch betrachtet den gegenwärtigen Stand dieser Richtung der Mikroelektronik, ein breites Spektrum ihrer praktischen Möglichkeiten und Perspektiven für die weitere Entwicklung. Physikalische Prinzipien der Funktionsweise von MEMS und ihre Eigenschaften werden betrachtet. Das Buch richtet sich an Spezialisten der Mikroelektronik und Informatik sowie an Studenten technischer Hochschulen.