Wafer Manufacturing - Chunhui Chung, Imin Kao

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Wafer Manufacturing (eBook)

Shaping of Single Crystal Silicon Wafers

Chunhui Chung, Imin Kao (Autoren)

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2020 | 1. Auflage
304 Seiten
Wiley (Verlag)
978-1-118-69625-5 (ISBN)

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Presenting all the major stages in wafer manufacturing, from crystals to prime wafers. This book first outlines the physics, associated metrology, process modelling and quality requirements and the goes on to discuss wafer forming and wafer surface preparation techniques. The whole is rounded off with a chapter on the research and future challenges in wafer manufacturing.

Imin Kao, is Professor in the Department of Mechanical Engineering at the State University of New York in Stony Brook, USA. He is Faculty Director of the Undergraduate College in Information and Technology Studies. He holds three patents, and his research foci include robotic manipulation with soft contacts and smart contact surface technology using MEMS. Chunhui Chung, is Associate Professor in the Department of Mechanical Engineering at the National Cheng Kung University in Taiwan.

Erscheint lt. Verlag	31.12.2020
Sprache	englisch
Themenwelt	Naturwissenschaften ► Chemie
	Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik
	Technik ► Maschinenbau
Schlagworte	Electrical & Electronics Engineering • Electronic materials • Elektronische Materialien • Elektrotechnik u. Elektronik • Halbleiter • Halbleiterphysik • materials processing • Materials Science • Materialverarbeitung • Materialwissenschaften • Physics • Physik • Semiconductor physics • Wafer
ISBN-10	1-118-69625-5 / 1118696255
ISBN-13	978-1-118-69625-5 / 9781118696255

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