Problemangepasste Modellierung und Simulation von Mikrosystemen mit physikalisch basierten Modellen

Der Einsatz von modellbasierten, virtuellen Prototypen ermöglicht den zeit- und kosteneffizienten Entwurf von Mikrosystemen. Diese Arbeit stellt ein modulares, physikalisch basiertes Modellierungskonzept vor, mit dem Modelle für die vielfältigen Mikrosysteme auf die jeweilige Problemstellung im Entwurf maßgeschneidert und so optimal eingesetzt werden können. Anhand von zwei sehr unterschiedlichen Mikrobauelementen – einem Hochfrequenz-Mikroschalter und einem Silizium-Mikrofon – wird dieses Konzept veranschaulicht und bewertet.