Leistungsstarke Infrarotemitter mit schrägwinkelbedampften Emissionsschichten

Die nicht-dispersive Infrarot- (NDIR-) Spektroskopie ist ein sehr genaues und
wirtschaftliches Verfahren zur Messung der Zusammensetzung von Gasen.
Dabei durchstrahlt die von einem Infrarotemitter erzeugte IR-Strahlung das zu
analysierende Gas, welches die Strahlung bei charakteristischen Wellenlängen
absorbiert. Diese Absorption wird von einem in der Messstrecke platziertem
IR-Sensor detektiert.
Die Leistungsfähigkeit solcher NDIR-Gasmessgeräte wird neben dem Detektor vor
allem auch von den IR-Strahlungsquellen bestimmt. In der vorliegenden Arbeit
wird eine neuartige Klasse von IR-Strahlern vorgestellt und deren Herstellung
und Eigenschaften beschrieben. Sie beruhen auf Folien aus hochschmelzenden
Metallen, die eine besondere Strukturierung des Heizleiters besitzen. Die hohe
Strahlungseffizient wird durch speziell abgeschiedene, poröse Dünnschichten
erreicht, die aus dem gleichen Material bestehen. Dies erlaubt extrem hohe
Strahlertemperaturen, eine sehr gute Modulierbarkeit der IR-Emitter, ermöglicht
eine exzellente Langzeitstabilität und vermeidet thermisch hervorgerufene
Deformationen der Strahlerelemente.