Gepulste Laserabscheidung von piezoelektrischen Pb(Zr,Ti)O3-Dünnschichten zur Anwendung in mikroelektromechanischen Systemen

Der piezoelektrische Effekt findet im Bereich der mikroelektromechanischen Systeme vermehrt Anwendung, was unter anderem durch einen ansteigenden Reifegrad von piezoelektrischen Dünnschichten erklärt werden kann. In dieser Arbeit wird die gepulste Laserabscheidung von piezoelektrischen Blei-Zirkonat-Titanat-Dünnschichten untersucht. Hierfür wird die Methode der statistischen Versuchsplanung angewandt. Aufbauend auf diesen Untersuchungen werden die physikalischen Hintergründe der beiden Haupteinflussgrößen Druck und Temperatur der Abscheidung weitergehend analysiert und Zusammenhänge zwischen Mikrostruktur und elektrischen Parametern dargelegt. Ausgehend von den Erkenntnissen der statistischen Versuchsplanung werden weiterhin verschiedene Ansätze zur Lösung der Problematik der Abscheidung von Blei-Zirkonat-Titanat-Dünnschichten bei Einhaltung eines maximalen, post-CMOS-kompatiblen, thermischen Budgets aufgezeigt.