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Manufacturing Techniques for Microfabrication and Nanotechnology (eBook)

eBook Download: PDF
2011
670 Seiten
CRC Press (Verlag)
978-1-4398-9530-6 (ISBN)
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Designed for science and engineering students, this text focuses on emerging trends in processes for fabricating MEMS and NEMS devices. The book reviews different forms of lithography, subtractive material removal processes, and additive technologies. Both top-down and bottom-up fabrication processes are exhaustively covered and the merits of the d
Erscheint lt. Verlag 13.6.2011
Sprache englisch
Themenwelt Technik Elektrotechnik / Energietechnik
Technik Maschinenbau
Technik Umwelttechnik / Biotechnologie
ISBN-10 1-4398-9530-9 / 1439895309
ISBN-13 978-1-4398-9530-6 / 9781439895306
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