Handbook of Microlithography, Micromachining and Microfabrication
Seiten
1997
Institution of Engineering and Technology (Verlag)
978-0-85296-906-9 (ISBN)
Institution of Engineering and Technology (Verlag)
978-0-85296-906-9 (ISBN)
- Titel ist leider vergriffen;
keine Neuauflage - Artikel merken
Focusing on the use of microlithography techniques in microelectronics manufacturing, this volume is one of a series addressing a rapidly growing field affecting the integrated circuit industry. New applications in such areas as sensors, actuators and biomedical devices, are described.
Optical lithography; electron beam lithography; X-ray lithography; deep UV resist technology; photomask fabrication procedures and limitations; metrology methods in photolithography; optical lithography modelling; issues in nanolithography for quantum effect device manufacture.
| Reihe/Serie | IEE Materials & Devices S. ; v.12A |
|---|---|
| Zusatzinfo | index |
| Verlagsort | Stevenage |
| Sprache | englisch |
| Maße | 156 x 254 mm |
| Themenwelt | Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik |
| Technik ► Maschinenbau | |
| ISBN-10 | 0-85296-906-6 / 0852969066 |
| ISBN-13 | 978-0-85296-906-9 / 9780852969069 |
| Zustand | Neuware |
| Haben Sie eine Frage zum Produkt? |
Mehr entdecken
aus dem Bereich
aus dem Bereich
