Advances In Resist Technology and Processing Xix
Seiten
2002
SPIE Press (Verlag)
978-0-8194-4436-3 (ISBN)
SPIE Press (Verlag)
978-0-8194-4436-3 (ISBN)
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| Erscheint lt. Verlag | 30.4.2002 |
|---|---|
| Zusatzinfo | illustrations |
| Verlagsort | Bellingham |
| Sprache | englisch |
| Themenwelt | Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik |
| ISBN-10 | 0-8194-4436-7 / 0819444367 |
| ISBN-13 | 978-0-8194-4436-3 / 9780819444363 |
| Zustand | Neuware |
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