Silizium-Halbleitertechnologie - Ulrich Hilleringmann

Silizium-Halbleitertechnologie

Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik
Buch | Softcover
XI, 275 Seiten
2019 | 7., überarb. u. erg. Aufl. 2019
Springer Fachmedien Wiesbaden GmbH (Verlag)
978-3-658-23443-0 (ISBN)
34,99 inkl. MwSt
zur Neuauflage
  • Titel ist leider vergriffen;
    keine Neuauflage
  • Artikel merken
Zu diesem Artikel existiert eine Nachauflage
Das Lehrbuch behandelt die Grundlagen und die technische Durchführung der Einzelprozesse zur mikroelektronischen Schaltungsintegration in der Silizium-Halbleitertechnologie. Die Integrationstechnik setzt sich aus einer Vielzahl von sich wiederholenden Einzelprozessen zusammen, deren Durchführung und apparative Ausstattung extremen Anforderungen genügen müssen, um die geforderten Strukturgrößen bis zu wenigen Nanometern gleichmäßig und reproduzierbar zu erzeugen. Das Zusammenspiel der Oxidationen, Ätzschritte und Implantationen zur Herstellung von MOS- und Bipolarschaltungen werden - ausgehend vom Rohsilizium bis zur gekapselten integrierten Schaltung - aus Sicht der Prozessführung erläutert.

Prof. Dr.-Ing. Ulrich Hilleringmann leitet das Fachgebiet Sensorik an der Universität Paderborn und lehrt Halbleitertechnologie, Mikrosystemtechnik, Sensorik und Prozessmesstechnik.

Herstellung von Siliziumscheiben.- Oxidation des dotierten Siliziums.- Lithografie.- Ätztechnik.- Dotiertechniken.- Depositionsverfahren.- Metallisierung und Kontakte.- Scheibenreinigung.- MOS-Technologien zur Schaltungsintegration.- Erweiterungen zur Höchstintegration.- Bipolar-Technologie.- Montage integrierter Schaltungen.

Erscheinungsdatum
Zusatzinfo XI, 275 S. 177 Abb.
Verlagsort Wiesbaden
Sprache deutsch
Maße 168 x 240 mm
Gewicht 544 g
Themenwelt Technik Elektrotechnik / Energietechnik
Schlagworte Ätztechnik • Bipolar • Bipolarschaltung • Bipolartechnik • Bipolar-Technologie • Chip • CMOS • Depositionsverfahren • Dotiertechniken • Dotierung • Elektronik • Elektrotechnik • Halbleitertechnik • Höchstintegration • Integrierter Schaltung • Lithografie • Metallisierung • Oxidation • Schaltungsintegration • Silizium
ISBN-10 3-658-23443-1 / 3658234431
ISBN-13 978-3-658-23443-0 / 9783658234430
Zustand Neuware
Haben Sie eine Frage zum Produkt?
Mehr entdecken
aus dem Bereich
Wegweiser für Elektrofachkräfte

von Gerhard Kiefer; Herbert Schmolke; Karsten Callondann

Buch | Hardcover (2024)
VDE VERLAG
48,00