Piezoelektrische Mikromembranaktoren mit einseitiger elektrischer Ansteuerung

In der vorliegenden Arbeit wird ein einfach aufgebauter piezoelektrischer Mikromembranaktor vorgestellt. Der Aktor besteht aus einem Bleizirkonattitanat-(PZT-)Substrat mit einseitig aufgebrachten interdigital strukturierten Oberflächenelektroden. Die einseitig aufgebrachten Elektroden sorgen bei elektrischer Ansteuerung für eine inhomogene Verteilung des elektrischen Feldes im Material. Dies führt zu einer Verwölbung der piezoelektrischen Mikromembran. Die Auswirkung des Elektrodenlayouts der Oberflächenelektroden auf Form, Höhe und Richtung der Auslenkung der Mikromembran wird hier dargestellt.