Eltemetett struktúrát tartalmazó üvegkerámia hordozó technológiája

Az üveg-kerámia (LTCC) hordozót gyakran alkalmazzák mikrorendszerekben, mert a kiváló fizikai és kémiai tulajdonságai mellett három dimenziós struktúrák kivitelezésére is alkalmas. A fluidikai eszköz legfontosabb gyártási lépéseit, mint a préselés és a kiégetés, eddig empirikus úton optimalizálták, a folyamat fizikai-kémiai hátterét, illetve az eszköz minöségének ellenörzését nem kutatták. Préselés hatására az eltemetett csatorna a geometriájának és a kitöltö anyag mechanikai tulajdonságának függvényében különbözö mértékben deformálódik. A technológiai folyamatok fizikai hátterének hiánya, továbbá a technológia folyamatos változásai (kisebb méretek, új anyagok) is új, az eddigieknél pontosabb és megbízhatóbb, a gyártási technológia szempontjából több információt szolgáltató, a csatorna deformációját csökkentö gyorsabb és pontosabb tervezést lehetövé tevö, valamint a folyamat végeselem modelljének illetve csatornatervezési módszerek kidolgozását igénylik.