Microlithography
High Integration in Microelectronics - Proceedings
Seiten
1990
World Scientific Publishing Co Pte Ltd (Verlag)
978-981-02-0137-1 (ISBN)
World Scientific Publishing Co Pte Ltd (Verlag)
978-981-02-0137-1 (ISBN)
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| Verlagsort | Singapore |
|---|---|
| Sprache | englisch |
| Themenwelt | Naturwissenschaften ► Chemie |
| Naturwissenschaften ► Physik / Astronomie ► Hochenergiephysik / Teilchenphysik | |
| Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik | |
| Technik ► Maschinenbau | |
| ISBN-10 | 981-02-0137-0 / 9810201370 |
| ISBN-13 | 978-981-02-0137-1 / 9789810201371 |
| Zustand | Neuware |
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