LTCC-kompatible Sensorschichten und deren Applikation in LTCC-Drucksensoren

Low Temperature Cofired Ceramic (LTCC) wird in der Aufbau- und Verbindungstechnik zur Realisierung hochintegrierter glaskeramischer Mehrlagenverdrahtungsträger angewendet. Aufgrund günstiger Werkstoff- und Technologiecharakteristika und der stetig steigenden Integrationsdichte von Si-Schaltkreisen sind LTCC-Mehrlagensysteme zu einem ernsthaften Konkurrenten für traditionelle PCB's oder für Dickschicht-Substrate der Hybridtechnik geworden. Auch für die Nutzung in der Mikrosystemtechnik weist LTCC ein hohes Potential auf. Durch die verwendete Folientechnologie besteht die Möglichkeit, auf einfache Weise 3-D-strukturierte Mehrlagensysteme mit integrierten mechanischen Funktionselementen (z.B. Balken, Membranen, Kammern, Kanälen) herzustellen. LTCC-kompatible Dickschichten können als Sensoren oder Aktoren fungieren. Die Nutzung von LTCC für derartige Applikationen stellt derzeit ein Novum dar. Die vorliegende Arbeit beschäftigt sich mit Aspekten der Entwicklung und Charakterisierung von piezoresistiven und piezoelektrischen Dickschichten auf LTCC und deren Applikation in entsprechenden LTCC-Drucksensoren. AUTOR: Herr Uwe Partsch studierte Feinwerk-, Meß- und Systemtechnik an der Friedrich-Schiller-Universität Jena. Derzeitige Arbeitsschwerpunkte als wissenschaftlicher Mitarbeiter am Institut für Keramische Technologien und Sinterwerkstoffe der Fraunhofer Gesellschaft liegen im Bereich der keramischen Hybridtechnik. Neben der Realisierung und Charakterisierung von Dickschicht-basierten Sensoren stehen Zuverlässigkeitsuntersuchungen und Fragen des Qualitätsmanagements im Mittelpunkt.