EMC 2002

18th European Mask Conferences on Mask Technology for Integrated Circuits and Micro-Components, Lectures held at the GMM-Conference January 15-16, 2002 in Munich, Germany

220 Seiten

2002
VDE VERLAG (Hersteller)
978-3-8007-2663-9 (ISBN)

Titel ist leider vergriffen;
keine Neuauflage

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In diesem Tagungsband werden u.a. folgende Themen behandelt: Integrated Circuits, Micro-Components, Feinwerktechnik, Next Generation Mask, NGM, Mask Application, MAP, Pattern Generation, PGP, Bacus, BAC, Motrology, Inspection, Repair.

Reihe/Serie	GMM-Fachbericht ; 36
Sprache	englisch
Einbandart	kartoniert
Themenwelt	Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik
Schlagworte	HC/Technik/Elektronik, Elektrotechnik, Nachrichtentechnik
ISBN-10	3-8007-2663-7 / 3800726637
ISBN-13	978-3-8007-2663-9 / 9783800726639
Zustand	Neuware