Gassensitivität und Hochtemperatureigenschaften dielektrischer Dünnschichten

Die Dissertation beschäftigt sich mit dem Signalbildungsmechanismus an mikrostrukturierten, feldeffektbasierten Gassensoren. Dazu werden einerseits die Polarisationsprozesse in dielektrischen Dünnschichten bei hohen Temperaturen untersucht. Andererseits wird eine neue Methode zur ortsaufgelösten Oberflächenpotentialmessung auf isolierenden Schichten entwickelt.