Herstellung und Charakterisierung von Metall-Oxid-Halbleiter-Kondensatoren und Feldeffekttransistoren auf 4H-Siliciumcarbid
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Die vorliegende Arbeit befasst sich mit der Herstellung und der Charakterisierung von Metall-Oxid-Halbleiter-Kondensatoren und Feldefekttransistoren auf der Siliciumseite von 4H-Siliciumcarbid (4H-SiC).
Erscheint lt. Verlag | 12.3.2015 |
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Reihe/Serie | Erlanger Berichte Mikroelektronik ; 2015,2 |
Sprache | deutsch |
Maße | 148 x 210 mm |
Gewicht | 287 g |
Einbandart | Paperback |
Themenwelt | Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik |
Schlagworte | EELS • MOSFET • SiC • Transistor |
ISBN-10 | 3-8440-3495-1 / 3844034951 |
ISBN-13 | 978-3-8440-3495-0 / 9783844034950 |
Zustand | Neuware |
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