International Conference on Microelectronic Test Structures
2000
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2000 ed.
I.E.E.E.Press (Hersteller)
978-0-7803-6277-2 (ISBN)
I.E.E.E.Press (Hersteller)
978-0-7803-6277-2 (ISBN)
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These conference proceedings cover such topics as: CD meteorology; device characterization; yield and interconnects; poster session; matching; reliability; parameter extraction; and process characterization.
Erscheint lt. Verlag | 1.4.2000 |
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Verlagsort | Piscataway NJ |
Sprache | englisch |
Themenwelt | Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik |
ISBN-10 | 0-7803-6277-2 / 0780362772 |
ISBN-13 | 978-0-7803-6277-2 / 9780780362772 |
Zustand | Neuware |
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