Adhesion Aspects in MEMS/NEMS -

Adhesion Aspects in MEMS/NEMS (eBook)

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2011
420 Seiten
CRC Press (Verlag)
978-90-04-19095-5 (ISBN)
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Phenomena associated with the adhesion interaction of surfaces have been a critical aspect of micro- and nanosystem development and performance since the first MicroElectroMechanicalSystems(MEMS) were fabricated. These phenomena are ubiquitous in nature and are present in all systems, however MEMS devices are particularly sensitive to their effects
Sprache englisch
Themenwelt Naturwissenschaften Biologie
Naturwissenschaften Chemie Physikalische Chemie
Naturwissenschaften Chemie Technische Chemie
Technik Maschinenbau
ISBN-10 90-04-19095-3 / 9004190953
ISBN-13 978-90-04-19095-5 / 9789004190955
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