Transmission Electron Microscopy in Micro-nanoelectronics - Alain Claverie

Blick ins Buch

Transmission Electron Microscopy in Micro-nanoelectronics (eBook)

Alain Claverie (Autor)

eBook Download: PDF

2013 | 1. Auflage
264 Seiten
Wiley (Verlag)
978-1-118-57903-9 (ISBN)

Lese- und Medienproben

Ebook-Leseprobe (PDF)

Today, the availability of bright and highly coherent electron sources and sensitive detectors has radically changed the type and quality of the information which can be obtained by transmission electron microscopy (TEM). TEMs are now present in large numbers not only in academia, but also in industrial research centers and fabs.This book presents in a simple and practical way the new quantitative techniques based on TEM which have recently been invented or developed to address most of the main challenging issues scientists and process engineers have to face to develop or optimize semiconductor layers and devices. Several of these techniques are based on electron holography; others take advantage of the possibility of focusing intense beams within nanoprobes. Strain measurements and mappings, dopant activation and segregation, interfacial reactions at the nanoscale, defect identification and specimen preparation by FIB are among the topics presented in this book. After a brief presentation of the underlying theory, each technique is illustrated through examples from the lab or fab.

Alain Claverie is Directeur of CEMES/CNRS, Toulouse, France.

Introduction

Chapter 1 Strain mapping using diffraction techniques NBD (Leti XX), CBED

Chapter 2 Strain mapping using GPA/HREM

Chapter 3 Dopant mapping using bright field TEM

Chapter 4 Strain mapping using dark field holography

Chapter 5 Interdiffusion and chemical reaction at interfaces by EELS

Chapter 6 Dopant segregation using STEM-EELS

Chapter 7 Chemical imaging using STEM-HAADF

Chapter 8 Characterization of process induced defects

Chapter 9 Specimen preparation by FIB

Chapter 10 Magnetic mapping using bright field holography

"This is a remarkable reference on transmission electron
microscopy (TEM) that includes applications for nanotechnology and
micro-nanoelectronics. This accessible book will be useful for a
wide readership, including researchers and students in material
science, microscopy and physical chemistry." (Optics
& Photonics News, 9 October 2013)

Erscheint lt. Verlag	24.1.2013
Sprache	englisch
Themenwelt	Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik
Schlagworte	Electrical & Electronics Engineering • Elektrotechnik u. Elektronik • MEMS
ISBN-10	1-118-57903-8 / 1118579038
ISBN-13	978-1-118-57903-9 / 9781118579039

Haben Sie eine Frage zum Produkt?

PDF (Adobe DRM)
Größe: 42,6 MB

Kopierschutz: Adobe-DRM
Adobe-DRM ist ein Kopierschutz, der das eBook vor Mißbrauch schützen soll. Dabei wird das eBook bereits beim Download auf Ihre persönliche Adobe-ID autorisiert. Lesen können Sie das eBook dann nur auf den Geräten, welche ebenfalls auf Ihre Adobe-ID registriert sind.
Details zum Adobe-DRM

Dateiformat: PDF (Portable Document Format)
Mit einem festen Seitenlayout eignet sich die PDF besonders für Fachbücher mit Spalten, Tabellen und Abbildungen. Eine PDF kann auf fast allen Geräten angezeigt werden, ist aber für kleine Displays (Smartphone, eReader) nur eingeschränkt geeignet.

Systemvoraussetzungen:
PC/Mac: Mit einem PC oder Mac können Sie dieses eBook lesen. Sie benötigen eine Adobe-ID und die Software Adobe Digital Editions (kostenlos). Von der Benutzung der OverDrive Media Console raten wir Ihnen ab. Erfahrungsgemäß treten hier gehäuft Probleme mit dem Adobe DRM auf.
eReader: Dieses eBook kann mit (fast) allen eBook-Readern gelesen werden. Mit dem amazon-Kindle ist es aber nicht kompatibel.
Smartphone/Tablet: Egal ob Apple oder Android, dieses eBook können Sie lesen. Sie benötigen eine Adobe-ID sowie eine kostenlose App.
Geräteliste und zusätzliche Hinweise

Buying eBooks from abroad
For tax law reasons we can sell eBooks just within Germany and Switzerland. Regrettably we cannot fulfill eBook-orders from other countries.