CVD of Compound Semiconductors (eBook)
XIV, 338 Seiten
Wiley-VCH (Verlag)
978-3-527-61462-2 (ISBN)
Topics included:
* techniques for compound semiconductor growth
* metalorganic precursors for III-V MOVPE
* metalorganic precursors for II-VI MOVPE
* single-source precursors
* chemical beam epitaxy
* atomic layer epitaxy
Several useful appendixes and a critically selected, up-to-date list of references round off this practical handbook for materials scientists, solid-state and organometallic chemists, and engineers.
Metallorganische Precursormoleküle sind zur Herstellung von dünnen, hochreinen Schichten für Elektronikbauelemente unentbehrlich. Dieses Handbuch behandelt die Herstellung und Struktur der Precursor und ihre Anwendung in CVD-Prozessen zur Herstellung von Verbindungshalbleitern.
Unter anderem werden behandelt:
* Strategien und Techniken zur Herstellung von Verbindungshalbleitern
* Metallorganische Precursormoleküle für III-V MOVPE
* Metallorganische Precursormoleküle für II-VI MOVPE
* Einkomponentenvorstufen
* CBE-Technik
* ALE-Technik
Eine Reihe von Glossarien und ein ausführliches Literaturverzeichnis runden dieses umfassende Werk ab. Dieses Buch ist für Chemiker, Physiker, Ingenieure und Materialwissenschaftler, die sich mit der Materialentwicklung dünner Schichten befassen, zu empfehlen.
Basic Electronics
Introduction to Vapor-Phase Epitaxy
MOCVD
ALE
CBE
Precursor Chemistry
General Classes
Synthesis/Purification
Effects of Trace Impurities on Layer Properties
Deposition of III-V Semiconductors
MOCVD
ALE
CBE
Deposition of II-VI Semiconductors
MOCVD
ALE
Future Prospects Basic Electronics
Introduction to Vapor-Phase Epitaxy
MOCVD
ALE
CBE
Precursor Chemistry
General Classes
Synthesis/Purification
Effects of Trace Impurities on Layer Properties
Deposition of III-V Semiconductors
MOCVD
ALE
CBE
Deposition of II-VI Semiconductors
MOCVD
ALE
Future Prospects
Erscheint lt. Verlag | 20.11.2008 |
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Sprache | englisch |
Themenwelt | Naturwissenschaften ► Chemie |
Naturwissenschaften ► Physik / Astronomie | |
Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik | |
Schlagworte | Anorganische Chemie • Chemie • Chemistry • Coordination Chemistry • Electrical & Electronics Engineering • Elektrotechnik u. Elektronik • Festkörperchemie • Festkörperchemie • Halbleiter • Inorganic Chemistry • Koordinationschemie • Materials Science • Materialwissenschaften • Oberflächenbehandlung • Oberflächenbehandlung • Physical Organic Chemistry • Physikalische Organische Chemie • semiconductors • solid state chemistry • Technik / Elektronik, Elektrotechnik, Nachrichtentechnik |
ISBN-10 | 3-527-61462-1 / 3527614621 |
ISBN-13 | 978-3-527-61462-2 / 9783527614622 |
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Größe: 18,8 MB
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