Microsystem Technology (eBook)
XII, 500 Seiten
Wiley-VCH (Verlag)
978-3-527-61301-4 (ISBN)
Mehr als 200 Abbildungen und Tabellen illustrieren den klar strukturierten Text. Nach einer kurzen allgemeinen Einführung behandeln die Autoren systematisch die theoretischen und methodischen Grundlagen für eine erfolgreiche Arbeit auf diesem zukunftsträchtigen Gebiet. Parallelen zur Mikroelektronik werden gezeigt, eine detaillierte Beschreibung der verwendeten Materialien und eingesetzten Techniken schließt sich an. Breiten Raum geben die Autoren den wichtigen Verfahren wie Dünnschichttechnik, Lithographie, Silizium-Mikromechanik, LIGA-Verfahren und dem Gebiet der Aufbau- und Verbindungstechniken, bevor zum Abschluß die Grundzüge des Systemgedankens beschrieben werden.
Das Werk wendet sich an Ingenieurwissenschaftler, besonders der Fachrichtungen Mikrosystemtechnik, Sensorik, Elektrotechnik, Maschinenbau, Meß- und Regelungstechnik sowie an Physiker.
General Introduction to Microstructure Technology
The Parallels to Microelectrics
The Basis and Materials in Microtechnology
Basic Principles of Vacuum Technology
Litography
The Silicon Micromechanics
The LIGA Process
Alternative Process of Microstructuring
Construction and Junction Techniques (CJT)
System Technology General Introduction to Microstructure Technology
The Parallels to Microelectrics
The Basis and Materials in Microtechnology
Basic Principles of Vacuum Technology
Lithography
The Silicon Micromechanics
The LIGA Process
Alternative Process of Microstructuring
Construction and Junction Techniques (CJT)
System Technology
"...written by excellent experts in the field and gives a very deep and wide introduction to this important technology. The Text includes may practical examples already realized, and many details for the fabrication processes are explained. I can recommend this book without any restrictions tp engineers as well as physicists, and other scientists in this field." Optik
Erscheint lt. Verlag | 11.7.2008 |
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Sprache | englisch |
Themenwelt | Naturwissenschaften ► Chemie |
Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik | |
Technik ► Maschinenbau | |
Schlagworte | Electrical & Electronics Engineering • Electronic materials • Elektronische Materialien • Elektrotechnik u. Elektronik • Materials Science • Materialwissenschaften • MEMS • Mikrosystemtechnik • Nanotechnologie • nanotechnology • Physics • Physik • Technik / Sonstiges |
ISBN-10 | 3-527-61301-3 / 3527613013 |
ISBN-13 | 978-3-527-61301-4 / 9783527613014 |
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Größe: 38,9 MB
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