Blick ins Buch

Silicon Devices (eBook)

Structures and Processing

Kenneth A. Jackson (Herausgeber)

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2008 | 1. Auflage
VIII, 202 Seiten
Wiley-VCH (Verlag)
978-3-527-61179-9 (ISBN)

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Silicon is the most important material for the electronics industry. In modern microelectronics silicon devices like diodes and transistors play a major role, and devices like photodetectors or solar cells gain ever more importance. This concise handbook deals with one of the most important topics for the electronics industry. World renowned authors have contributed to this unique overview of the processing of silicon and silicon devices.
Silizium ist das wichtigste Material der Halbleitertechnologie, der Basis der modernen Mikroelektronik.

Das Buch ist verfaßt von führenden Experten auf diesem Gebiet und gibt angefangen mit der Herstellung hochreinen Siliziums einen breiten Überblick über Aufbau und Herstellung moderner Silizium-Baulelemente für die Mikroelektronik.

Es wird für jeden Physiker, Ingenieur oder Materialwissenschaftler, der sich mit der Forschung und Entwicklung neuer Halbleiter-Elemente befaßt, ein unentbehrliches Nachschlagewerk sein.

SILICON PROCESSING
Single Crystal Silicon
Czochralski Silicon
Crystal Engineering
SILICON DEVICE STRUCTURES
Potential-Effect Devices
Field-Effect Devices
Quantum-Effect Devices
Photonic Diodes
SILICON DEVICE PROCCESSING
Gettering
Device Isolation
Junction Formation
Metallization
Cluster Tool Technology SILICON PROCESSING
Single Crystal Silicon
Czochralski Silicon
Crystal Engineering
SILICON DEVICE STRUCTURES
Potential-Effect Devices
Field-Effect Devices
Quantum-Effect Devices
Photonic Diodes
SILICON DEVICE PROCCESSING
Gettering
Device Isolation
Junction Formation
Metallization
Cluster Tool Technology

Erscheint lt. Verlag	21.11.2008
Sprache	englisch
Themenwelt	Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik
Themenwelt	Technik ► Maschinenbau
Schlagworte	Electrical & Electronics Engineering • Elektrotechnik u. Elektronik • Halbleiter • Halbleiterphysik • Materials Science • Materialwissenschaften • Mikroelektronik • Physics • Physik • Semiconductor physics • semiconductors • Silizium
ISBN-10	3-527-61179-7 / 3527611797
ISBN-13	978-3-527-61179-9 / 9783527611799

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