Prozeßtechnologie

Fertigungsverfahren für integrierte MOS-Schaltungen

Günter Schumicki, Peter Seegebrecht (Autoren)

Buch | Softcover

XVI, 500 Seiten

1991 | 1. Softcover reprint of the original 1st ed. 1991
Springer Berlin (Verlag)
978-3-540-17670-1 (ISBN)

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Prozeßtechnologie behandelt Fertigungsverfahren integrierter Schaltungen in CMOS-Technologie. Hierbei werden zunächst die Einzelprozesse behandelt, die der Strukturerzeugung, Strukturübertragung, Schichterzeugung und Schichtmodifikation zugerechnet werden. Im Anschluß daran wird gezeigt, wie Einzelprozesse zu einem Gesamtprozeß für die Herstellung von CMOS-Schaltungen integriert werden. Auf die Charakterisierung der Prozesse und die Entwicklung der Entwurfsregeln wird eingegangen. Das Buch basiert auf dem reichen Erfahrungsschatz fertigungsorientierter Technologen.

1 Einleitung.- 2 Reinstraumtechnologie.- 3 Materialtechnologie.- 4 Strukturerzeugung.- 5 Strukturübertragung.- 6 Thermische Oxidation.- 7 CVD-Verfahren.- 8 Metallisierung.- 9 Diffusionsverfahren.- 10 Ionenimplantation.- 11 Reinigungsverfahren.- 12 Prozeßintegration.- 13 Design-Regeln.- 14 Prozeßcharakterisierung.- 15 Prozeßkontrolle.- 16 Ausbeute und Zuverlässigkeit.

Erscheint lt. Verlag	8.3.1991
Reihe/Serie	Mikroelektronik
Mitarbeit	Assistent: N. Bündgens, T. Evelbauer, H. Fehling, J.-H. Fock, J. Frick, R. Schneider, B. Strycharczyk, F. Zimmermann
Zusatzinfo	XVI, 500 S. 168 Abb.
Verlagsort	Berlin
Sprache	deutsch
Maße	170 x 244 mm
Gewicht	870 g
Themenwelt	Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik
Schlagworte	CMOS • CMOS-Schaltungen • Entwicklung • Mikroelektronik • MOS-Schaltungen • Prozeßtechnologie • Reinraumtechnik • Schaltung • Zuverlässigkeit
ISBN-10	3-540-17670-5 / 3540176705
ISBN-13	978-3-540-17670-1 / 9783540176701
Zustand	Neuware