Microelectronic Test Structures for CMOS Technology (eBook)

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2011 | 1. Auflage
XXXIV, 373 Seiten
Springer New York (Verlag)
978-1-4419-9377-9 (ISBN)

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Microelectronic Test Structures for CMOS Technology -  Manjul Bhushan,  Mark B. Ketchen
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Microelectronic Test Structures for CMOS Technology and Products addresses the basic concepts of the design of test structures for incorporation within test-vehicles, scribe-lines, and CMOS products. The role of test structures in the development and monitoring of CMOS technologies and products has become ever more important with the increased cost and complexity of development and manufacturing. In this timely volume, IBM scientists Manjul Bhushan and Mark Ketchen emphasize high speed characterization techniques for digital CMOS circuit applications and bridging between circuit performance and characteristics of MOSFETs and other circuit elements.  Detailed examples are presented throughout, many of which are equally applicable to other microelectronic technologies as well. The authors' overarching goal is to provide students and technology practitioners alike a practical guide to the disciplined design and use of test structures that give unambiguous information on the parametrics and performance of digital CMOS technology.


Microelectronic Test Structures for CMOS Technology and Products addresses the basic concepts of the design of test structures for incorporation within test-vehicles, scribe-lines, and CMOS products. The role of test structures in the development and monitoring of CMOS technologies and products has become ever more important with the increased cost and complexity of development and manufacturing. In this timely volume, IBM scientists Manjul Bhushan and Mark Ketchen emphasize high speed characterization techniques for digital CMOS circuit applications and bridging between circuit performance and characteristics of MOSFETs and other circuit elements. Detailed examples are presented throughout, many of which are equally applicable to other microelectronic technologies as well. The authors' overarching goal is to provide students and technology practitioners alike a practical guide to the disciplined design and use of test structures that give unambiguous information on the parametrics and performance of digital CMOS technology.

Introduction.- Test Structure Basics.- Resistors.- Capacitors.- MOSFETs.- Ring Oscillators.- High Speed Characterization.- Test Structures of SOI Technology.- Test Equipment and Measurements.- Data Analysis.

Erscheint lt. Verlag 26.8.2011
Zusatzinfo XXXIV, 373 p.
Verlagsort New York
Sprache englisch
Themenwelt Technik Elektrotechnik / Energietechnik
Technik Maschinenbau
Schlagworte Bhushan • Circuit Design • CMOS • CMOS Process • CMOS technology • Ketchen • Manjul Bhushan • manufacturability • Mark B. Ketchen • microelectronics • Microelectronics test structures • Silicon chip design • Silicon chip manufacturing • Silicon fabrication • Silicon manufacturing • te • Test processes • test structures • VLSI circuit design
ISBN-10 1-4419-9377-0 / 1441993770
ISBN-13 978-1-4419-9377-9 / 9781441993779
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