Ion Implantation Technology
Seiten
2011
|
2011 ed.
American Institute of Physics
978-0-7354-0876-0 (ISBN)
American Institute of Physics
978-0-7354-0876-0 (ISBN)
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Features the proceedings of 18th International conference on Ion Implantation Technology (IIT2010) that covers various aspects of ion implantation, from the fundamentals of ion-solid interactions to industrial applications of the latest implantation machines and device manufacturing.
| Reihe/Serie | Progress in Molecular and Subcellular Biology / Marine Molecular Biotechnology ; 1321 |
|---|---|
| Zusatzinfo | Illustrations |
| Verlagsort | New York |
| Sprache | englisch |
| Themenwelt | Naturwissenschaften ► Physik / Astronomie ► Festkörperphysik |
| Naturwissenschaften ► Physik / Astronomie ► Theoretische Physik | |
| Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik | |
| ISBN-10 | 0-7354-0876-9 / 0735408769 |
| ISBN-13 | 978-0-7354-0876-0 / 9780735408760 |
| Zustand | Neuware |
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