Mikrosystemtechnik auf Silizium
Vieweg & Teubner (Verlag)
978-3-519-06158-8 (ISBN)
Priv.-Doz. Dr.-Ing. Ulrich Hilleringmann, Univ. Dortmund
1 Einleitung.- 2 Basistechnologien auf Siliziumsubstrat.- 2.1 Technologie zur Schaltungsintegration.- 2.2 Integrierte Optik.- 2.3 Mikromechanik.- 3 Voraussetzungen für eine monolithische Systemintegration.- 3.1 Planarisierung der Scheibenoberfläche.- 3.2 Integration der Wellenleiter in den LOCOS-CMOS-Prozeß.- 3.3 Adaption der mikromechanischen Integrationstechnik.- 4 Schnittstellen zwischen den einzelnen Technologien.- 4.1 Optoelektronische Kopplungsmechanismen.- 4.2 Kopplung der Mikromechanik.- 5 Beschreibung der Herstellungsprozesse.- 5.1 Optoelektronische Integrationstechniken.- 5.2 Prozeßerweiterung um mikromechanische Komponenten.- 6 Ergebnisse der Einzeltechnologien.- 6.1 Fotodetektoren und mikroelektronische Schaltungen.- 6.2 Eigenschaften integriert-optischer Komponenten.- 6.3 Mikromechanik.- 7 Meßergebnisse an Gesamtsystemen.- 7.1 Eigenschaften der CMOS-Bauelemente.- 7.2 Das optische Teilsystem.- 7.3 Monolithisch integrierte mechanische Systemkomponenten.- 7.4 Beurteilung der verschiedenen Integrationstechniken.- 8 Verbesserung der Schaltungseigenschaften.- 8.1 Kurzkanaltransistoren.- 8.2 BiCMOS für höhere Schaltgeschwindigkeiten.- 8.3 Nichtflüchtige Speichertransistoren zur Offset-Kompensation.- 9 Ausblick.- 10 Zusammenfassung.- Anhang A: Abkürzungsverzeichnis.- Anhang B: Prozeßfolge der vollintegrierten Technik.- Anhang C: Prozeßfolge der modularen Integrationstechnik.- Stichwortverzeichnis.
Erscheint lt. Verlag | 1.1.1995 |
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Zusatzinfo | VIII, 229 S. 102 Abb. |
Verlagsort | Wiesbaden |
Sprache | deutsch |
Gewicht | 368 g |
Themenwelt | Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik |
Schlagworte | Entwicklung • Halbleiter • Mechanik • Mechatronik • Mikroelektronik • Mikrosystem (MEMS) • Mikrosystemtechnik • Optik • Signalverarbeitung • Silicium • Silicium / Silizium • Systeme • Systemintegration • Systemtechnik • Technik • Technologie • Werkstoff |
ISBN-10 | 3-519-06158-9 / 3519061589 |
ISBN-13 | 978-3-519-06158-8 / 9783519061588 |
Zustand | Neuware |
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