Werkstückbegleitender Informationsspeicher als Basis für ein informationstechnisches Konzept für Halbleiterfertigungen

Abkürzungen und Formelzeichen.- 1 Einleitung.- 1.1 Problemstellung.- 1.2 Zielsetzung und Vorgehensweise.- 2 Stand der Technik.- 2.1 Begriffe und Definitionen.- 2.2 Chipfertigung.- 2.3 Gerätetechnik.- 2.4 Informationsverarbeitung in der Fertigung.- 3 Analyse von Schwachstellen der Chipfertigung.- 3.1 Fehlerursachen in der Chipfertigung.- 3.2 Schwachstellen in Organisation und Struktur.- 3.3 Materialfluß und Logistik.- 3.4 Schwachstellen in der Informationsverarbeitung.- 3.5 Manuelle Eingriffe.- 3.6 Zusammenfassung der Analyseergebnisse.- 4 Ableitung der Entwicklungsschwerpunkte.- 4.1 Strukturierung der Anforderungen.- 4.2 Aufstellung des Systempflichtenheftes.- 5 Entwicklung und Bewertung von Lösungsalternativen.- 5.1 Voraussetzungen für die Lösungsfindung.- 5.2 Erfüllung der Forderungen.- 5.3 Bewertung.- 6 Konzeption des werkstückbegleitenden Informationssystems.- 6.1 Organisationsstruktur.- 6.2 Funktionsmodularisierung.- 6.3 Grundbetriebsarten.- 6.4 Bedienung.- 6.5 Basisfunktionen.- 6.6 Hardwarearchitektur.- 6.7 Gerätetechnische Ausführung.- 7 Realisierung des werkstückbegleitenden Informationssystems.- 7.1 Aufbau eines Funktionsmusters.- 7.2 Integration in eine Pilotzelle.- 7.3 Erfahrungen bei der Realisierung.- 8 Zusammenfassung und Ausblick.- 8.1 Zusammenfassung.- 8.2 Ausblick.- 9 Literaturverzeichnis.