Frontiers of Characterization and Metrology for Nanoelectronics
Seiten
2009
American Institute of Physics (Verlag)
978-0-7354-0712-1 (ISBN)
American Institute of Physics (Verlag)
978-0-7354-0712-1 (ISBN)
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As the semiconductor industry continues to move toward silicon nanoelectronics and beyond, the introduction of new materials, innovative processing and assembly, and novel devices brings formidable metrology challenges. This book emphasizes the frontiers of innovation in the characterization and metrology needed to advance nanoelectronics.
| Erscheint lt. Verlag | 1.11.2009 |
|---|---|
| Reihe/Serie | AIP Conference Proceedings ; 1173 |
| Zusatzinfo | Illustrations |
| Verlagsort | New York |
| Sprache | englisch |
| Maße | 216 x 279 mm |
| Einbandart | gebunden |
| Themenwelt | Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik |
| ISBN-10 | 0-7354-0712-6 / 0735407126 |
| ISBN-13 | 978-0-7354-0712-1 / 9780735407121 |
| Zustand | Neuware |
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