Resonante mikromechanische Energiewandler

In der vorliegenden Arbeit werden resonante mikromechanische Energiewandler untersucht. Sie basieren auf elektromechanisch gekoppelten Feder-Masse­ Systemen, die aufgrund eines physikalischen Wandlungsprinzips in der Lage sind, mechanische Vibrationen in elektrische Energie zu wandeln. Geeignete Wandlungsmechanismen sind das induktive, das piezoelektrische und das kapazitive Prinzip. Diese drei Ansätze werden vor allem im Hinblick auf die elektrische Energiedichte, das Skalierungsverhalten und die mikrotechnologische HersteIlbarkeit verglichen. Die theoretischen Überlegungen führen zu dem Entschluss, sowohl einen kapazitiven als auch einen piezoelektrischen mikromechanischen Energiewandler zu realisieren.