Microlithographic Techniques In Integrated Circuit
Seiten
1997
SPIE Press (Verlag)
978-0-8194-2610-9 (ISBN)
SPIE Press (Verlag)
978-0-8194-2610-9 (ISBN)
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| Verlagsort | Bellingham |
|---|---|
| Sprache | englisch |
| Themenwelt | Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik |
| ISBN-10 | 0-8194-2610-5 / 0819426105 |
| ISBN-13 | 978-0-8194-2610-9 / 9780819426109 |
| Zustand | Neuware |
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